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全氟丁二烯

  • 所属分类:含氟生物医药材料

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/05/30
  • 规格:
  • 类型:
  • 在线询价
  • 详细介绍

    全氟丁二烯(C4F6)是一种无色无味且不溶于水的气体。全氟丁二烯熔点为-132.0℃,沸点为5.9℃。全氟丁二烯是一种含有六个氟原子和两个碳碳双键的共轭烯烃,作为一种优异的蚀刻气体,由于其独特的F/C比,与传统使用的全氟饱和氟碳类蚀刻气体相比,全氟丁二烯具有更高的蚀刻选择性、精确性和纵横比,可以蚀刻小于100nm 甚至更窄的电子线路。此外,C4F6比C4F8具有更高的对光阻和氮化硅选择比,在使用时可以提高蚀刻的稳定性,提高蚀刻速率和均匀度,从而提高产品优良率。


产品指标


项目 Items单位 Unit指标 Index
C4F6Vol.%≥99.99
N2Vol.ppm≤10
O2+ArVol.ppm≤2
H2OVol.ppm≤3
CO2Vol.ppm≤10
COVol.ppm≤3
异丙醇 IsopropanolVol.ppm≤5
其他氟碳化合物 Other fluorocarbonVol.ppm≤70
活性氟化物(Measured by HF)Wt.ppm≤2


产品用途:作为刻蚀气用于半导体产品的等离子介质刻蚀。        

包装、贮存:全氟丁二烯充装在钢瓶中,钢瓶型号为B10,尺寸14cm×83cm,内部容积10.1L,毛重14.7kg,有效载荷10kg。具体包装规格可根据用户要求定制更改。

本文网址:http://www.ch-zsem.com/product/799.html

关键词:含氟生物医药材料,六氟-1,3-丁二烯

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